方法概述：

在高純氣體分析中，微量CO、CH4、CO2的分析占有重要的地位，本方法利用TDX-01色譜柱完成分離，甲烷轉化器將CO/CO2轉化為CH4，在氫火焰FID檢測器上響應，可得到優于0.05ppm的檢出限濃度指標。

實驗儀器及標準物：

氣相色譜儀G51（FID檢測器），六通閥+模塊化甲烷轉化器

數據處理工作站3091

標準氣體4L：CO(1PPM)；CO2 (1PPM)；CH4（1PPM）

N2 純度>99.999%

空氣：無油空氣發生器（XGA-380A）

氫氣：高純氫氣發生器（XGH-300）